概述：

應用范圍：

泵從大氣壓力下開始抽氣，將被抽氣體直接排到大氣中，泵腔內無油和其他工作介質，泵的極限壓力與油封式真空泵接近

低壓化學氣相沉積中多晶硅制備工藝，半導體刻蝕工藝，化學工業、醫藥工業、食品工業的蒸餾、干燥、脫泡、包裝，防止有機溶劑造成污染

性能特點：

·對物品及環境沒有污染，使用真空、排氣場合不含油分

·維護方便，使用特殊自潤滑碳素滑片

·耐磨性強、無油泵、噪音低、壽命長

·調節方便、有真空壓力表及調節閥

·吸排氣穩定，多枚滑片高速回轉

·振動小、空氣波動小、吸排氣穩定